| heidenhain海德漢光電掃描原理 |
| 點(diǎn)擊次數(shù)：1423 更新時(shí)間：2019-08-08 |
大多數(shù)海德漢公司的光柵尺或編碼器都用光電掃描原理。光電掃描測量基準(zhǔn)是非接觸式掃描，因此無磨損。這種光電掃描方法能檢測到非常細(xì)的線條，通常不超過幾微米寬，而且能生成信號周期很小的輸出 成像掃描原理 當(dāng)平行光穿過一個光柵時(shí)，在一定距離處形成明/暗區(qū)。掃描光柵就位于該位置。當(dāng)兩個光柵相對運(yùn)動時(shí)，穿過光柵的光得到調(diào)制。如果狹縫對齊，則光線穿過。如果一個光柵的刻線與另一個光柵的狹縫對 柵距越小，掃描掩膜和光柵尺帶間的間距越小，公差越嚴(yán)。成像掃描的10 µm或更大柵距的編碼器允許的編碼器安裝公差相對
干涉掃描原理
干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的衍射和干涉形成位移的測量信號。階梯狀光柵用作測量基準(zhǔn)：高度0.2 µm的反光線刻在平反光面中。光柵尺帶的前方是掃描掩膜，其柵距與光柵尺帶的柵距相同，是透射相位光柵。
光波照射到掃描掩膜時(shí)，光波被衍射為三束光強(qiáng)近似的光：-1、0和+1。光柵尺帶衍射的光波中，反射的衍射光中光強(qiáng)QIANG的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇，又一次被衍射和干涉。它也形成三束光，并以不同的角度離開掃描掩膜。光電池將這些交變的光強(qiáng)信號轉(zhuǎn)化成電信號。
掃描掩膜與光柵尺帶的相對運(yùn)動使級的衍射光產(chǎn)生相位移：當(dāng)光柵移過一個柵距時(shí)，前一級的+1衍射光在正方向上移過一個光波波長，-1衍射光在負(fù)方向上移過一個光波波長。由于這兩個光波在離開掃描光柵時(shí)將發(fā)生干涉，光波將彼此相對移動兩個光波波長。也就是說，相對移動一個柵距可以得到兩個信號周期。
例如，干涉光柵尺的柵距一般為8 µm、•4•µm甚至更小。其掃描信號基本沒有高次諧波，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分。因此，這些光柵尺特別適用于小測量步距和高精度應(yīng)用。
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